上海2018年3月14日電 /美通社/ -- SEMICON China 2018 -- 科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者賽默飛世爾科技(以下簡稱：賽默飛)宣布推出新產(chǎn)品，增強半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制和產(chǎn)量。這些新產(chǎn)品將于2018年3月14日至16日在SEMICON China (N5館5619號展位)展出。
賽默飛半導(dǎo)體副總裁兼總經(jīng)理Rob Krueger表示：“賽默飛深耕用于控制生產(chǎn)工藝和診斷半導(dǎo)體和顯示器制造過程和產(chǎn)品故障根本原因的先進(jìn)分析技術(shù)。本周，我們將推出新產(chǎn)品，幫助推動亞洲，特別是中國的半導(dǎo)體制造業(yè)快速創(chuàng)新和持續(xù)拓展。”
Verios G4極高分辨率掃描電子顯微鏡
Thermo Scientific Verios G4極高分辨率(XHR)掃描電子顯微鏡(SEM)提供確定根本原因缺陷、產(chǎn)量損失以及過程和產(chǎn)品故障所需的能力和靈活性。
Krueger表示：“Verios G4是源于我們大獲成功的Helios DualBeam系列 (聚焦離子束/掃描電子顯微鏡)儀器的掃描電子顯微鏡解決方案。它提供各種環(huán)境下行業(yè)領(lǐng)先的性能，尤其是用于先進(jìn)工藝的光束敏感材料所需的低電壓環(huán)境。”
Hyperion II快速高效的納米探針 0·
納米探測器直接對單個晶體管進(jìn)行電測量。新的Thermo Scientific Hyperion II是基于原子力顯微鏡的唯一商用納米探針，無需真空要求和基于掃描電子顯微鏡納米探測器的電子束/樣品相互作用。Hyperion II的自動操作和成像模式專為提高速度和易用性而設(shè)計。此外，其精確定位電氣故障的能力可以提高DualBeam或者TEM后續(xù)分析的速度和效率。
iCAP TQs電感耦合等離子體質(zhì)譜儀推動快速可靠的化學(xué)監(jiān)測
Thermo Scientific iCAP TQs電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)是信譽卓著的iCAP TQ ICP-MS的專用半導(dǎo)體版本。它提供了超高純度化學(xué)品中快速、可靠和可重復(fù)的低水平污染物測量，以支持先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的自動化在線監(jiān)測和統(tǒng)計過程控制。iCAP TQs ICP-MS 在一個高性能解決方案中提供了新的超低檢測水平和簡單性。有了這個新系統(tǒng)，如今將化學(xué)分析從實驗室移到工廠成為可能，并支持對化學(xué)浴進(jìn)行在線控制，從而優(yōu)化響應(yīng)時間。
