- 適用于半導(dǎo)體晶圓形狀的新設(shè)計
- 簡化晶圓鍵合過程中壓力測量的步驟
上海2026年6月17日 /美通社/ -- 2026年6月8日，富士膠片株式會社宣布推出"圓形Prescale"。該產(chǎn)品采用與半導(dǎo)體晶圓形狀相匹配的圓形設(shè)計，屬于壓力測量膠片"Prescale"*1系列。
富士膠片的"Prescale"系列是一種能夠輕松測量接觸面之間接觸壓力、壓力均勻性和壓力分布的膠片。當施加壓力時，膠片會變?yōu)榧t色，用戶可根據(jù)顏色深淺直觀了解壓力大小。因此，"Prescale"被廣泛應(yīng)用于顯示器、電子元器件、汽車、電池和包裝等諸多行業(yè)的研發(fā)和制造過程。
“Prescale”的結(jié)構(gòu)（雙片式） 當施加壓力時，顯色層中的微膠囊破裂，釋放其中的無色染料。當染料與顯色劑接觸時，會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使膠片變?yōu)榧t色。
近年來，在半導(dǎo)體領(lǐng)域，隨著制造工藝的日益精密，制造過程中的壓力檢測重要性也不斷凸顯。隨著人工智能（AI）與下一代通信技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體正向微型化和堆疊化技術(shù)推進，在"晶圓鍵合"等將晶圓或芯片連接的工藝中，對鍵合精度和穩(wěn)定性的要求也日趨嚴格。即使是輕微的壓力變化也可能影響半導(dǎo)體性能，因此，在鍵合過程中對壓力均勻性進行高精度檢測的需求日益增加。
富士膠片此次推出的"圓形Prescale"，專為當前半導(dǎo)體制造中行業(yè)標準的12英寸（φ300 mm）晶圓而設(shè)計。由于在檢測過程中無需被裁剪成匹配晶圓的尺寸或形狀，該產(chǎn)品能提升檢測效率，降低人力需求。此外，由于"圓形Prescale"支持在最高220°C的高溫環(huán)境下直接進行壓力測量，即使設(shè)備在加熱狀態(tài)也能準確測量壓力。
此外，壓力圖像分析軟件"FUJIFILM Prescale Mobile (Prescale Mobile)"*2也支持"圓形Prescale"。該軟件通過移動設(shè)備拍攝"Prescale"的顯色圖像并且進行數(shù)值化分析。此外，"Prescale"的專用裝置"FUJIFILM Prescale Station"（"Prescale Station"）*3也計劃于今年7月起支持"圓形Prescale"的應(yīng)用。該裝置可通過高分辨率FA相機（Factory Automation Camera）讀取拍攝"Prescale"的顯色圖像并進行數(shù)值化分析。
富士膠片通過開發(fā)和提供能夠使產(chǎn)品研發(fā)和制造現(xiàn)場檢驗操作更加數(shù)字化和簡易化的產(chǎn)品，助力客戶提高和穩(wěn)定制造質(zhì)量。
“壓力圖像分析裝置”（左）和“壓力圖像分析軟件”（右）可用于壓力的定量化分析 （“壓力圖像分析裝置”計劃于7月起支持“圓形Prescale”）
*1 一種利用富士膠片精密涂布和微膠囊技術(shù)，可輕松實現(xiàn)壓力、壓力均勻性與分布可視化的膠片。根據(jù)測量的壓力，"Prescale"有兩種類型：雙層型（顯色劑和顯影劑分別涂布在不同基材上的膠片）和單層型（顯色劑和顯影劑涂布在同一基材上的膠片）。"圓形Prescale" 屬于雙層型。 |
*2 一款移動應(yīng)用軟件，可利用富士膠片的圖像處理技術(shù)，將"Prescale"顯色圖像的壓力定量化。通過將顯色后的 "Prescale"放置到專用校準紙上，并使用安裝了該應(yīng)用的移動設(shè)備進行掃描，用戶即可輕松獲取包括最大/最小壓力、平均壓力以及壓力面積等在內(nèi)的13種壓力數(shù)據(jù)。其簡便的工作流程能幫助用戶輕松進行高精度壓力檢測。 *3 一種專用的壓力圖像分析系統(tǒng)，用于分析"Prescale"的顯色圖像、量化壓力。 |
1. 產(chǎn)品名稱、發(fā)布日期、價格、規(guī)格
*4 對壓合表面進行雙面加熱的推薦溫度。 |
2. "圓形Prescale"的主要特點
(1) 適用于晶圓形狀的圓形設(shè)計，提高工作效率
"圓形Prescale"專為12英寸（φ300毫米）晶圓形狀設(shè)計，減少了壓力測量準備工作所需的時間和人力。此外，產(chǎn)品配備了可握持的手柄，可避免接觸壓力測量表面，有助于提高半導(dǎo)體制造環(huán)境中的工作效率。
["圓形Prescale"的工作流程]
1. 從包裝盒中取出"圓形Prescale"。
2. 將A膠片和C膠片疊加。
3. 將疊加后的"圓形Prescale"插入待測面之間并施加壓力。
4. 使用比色卡和校準曲線直觀確認壓力均勻性。
(2) 支持高溫環(huán)境下的壓力測量
"圓形Prescale"系列包含可在35°C至150°C及150°C至220°C的高溫環(huán)境下進行壓力測量的不同型號。用戶可根據(jù)具體的操作環(huán)境選擇適合的產(chǎn)品型號。
(3) 與定量分析工具配合使用，進一步提高壓力測量質(zhì)量
"圓形Prescale"還可結(jié)合"Prescale Mobile"一起使用。該工具通過分析"圓形Prescale"的顯色圖像來量化壓力數(shù)值。其簡便的工作流程能幫助用戶輕松量化壓力均勻性，從而有助于提高檢驗效率并加強質(zhì)量控制。此外，專用于"圓形Prescale"的壓力圖像分析裝置"Prescale Station"也計劃于今年7月起支持"圓形Prescale"。
